LMS激光测量及校准系统.PDF

      LMS 激光测量及校准系统  （双频激光干涉仪）      适用于任何需要对位置和几何参数精密测量的行业和应用，  以及计量、研发、科学研究等领域         测试领域： 测量参数：   机床校正和对中  位置测量  Position       三坐标测量机校正  速度 Velocity  螺杆质量测试  加速度 Acceleration      动态测量(500KHz)  线性，准直度 Straightness    大尺寸工件高精度测量  垂直度 Squareness    计量校正(长度标准)  ，  角度 Angles  半导体晶圆测量  平面面型  Flatness    激光加工设备  平行度  Parallelism      光傲科技  www.light‐  021   Limtek 公司设计、生产、销售激光干涉测量系统超过40 年 并拥有独家的HeNe 激光器生产技术，保证测试的精度和可靠性 • 3 年内激光稳频（波长）精度不低于 0,02 ppm. • 10 年内激光稳频（波长）精度不低于 0.03ppm，满足测试要求 • 激光无需采用任何稳频措施（如预热等） • 无需预热，开机即可开始测量（一般激光需要预热，使波长稳定下来） • 激光器使用 He Ne 同位素气体，激光波长精度不受反射激光影响！（一 般的激光干涉仪反射可导致严重的测量误差） • 独特的激光器设计，可提供气体更换服务，达到新激光管的性能 • 空气和材料温度传感器等采用无线 WiFi 网络连接，安装和使用简单易用。 • 控制器界面可以选网线, USB 或无线 WiFi 接口，并