有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共5页，其中可免费阅读2页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
浙江理工大学学报第卷第期年月文章编号传统硅烷分解炉内分解过程的模拟姚晓晖罗列俞晓晶朱成良姚奎鸿浙江理工大学材料工程中心杭州摘要基于硅烷热分解的总体反应模型利用软件模拟了钟罩式硅烷分解炉内同时发生的传热传质和热化学反应过程模拟结果定量地表述了传统硅烷分解炉内发生的各个过程借此探讨了分解炉内的气压硅棒温度和硅烷流量等工艺条件对硅烷热分解沉积硅转化率及能耗等技术指标的影响指出硅棒温度为炉内压力升高至时有利于提高硅烷分解率抑制硅粉的产生和降低能耗关键词硅烷热分解数值模拟中图分类号文献标识码前言硅烷法制造
浙江理工大学学报 ，第 26卷，第6期，2009年 11月
JournalofZhejiangSci—TechUniversity
VoI．26，No．6，Nov．2009
文章编号：1673—3851(2009)06—0901—05
传统硅烷分解炉 内分解过程的模拟
姚晓晖。罗 列。俞晓晶，朱成良，姚奎鸿
(浙江理工大学材料工程中心，杭州 310018)
摘 要 ：基于硅烷热分解的总体反应模型，利用 Fluent软件模拟 了钟罩式硅烷分
文档评论（0）