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第卷第期强激光与粒子束年月一种校正相位测量轮廓术量化误差的算法赵静吴炜郑晓军刘凯四川大学电气信息学院成都四川大学电子信息学院成都四川省产品质量监督检验检测院成都摘要为了减小相位测量轮廓术中因数字化设备内部结构的量化处理过程引起的相位量化误差提高相位测量精度针对相位测量精度要求较高且表面凹凸变化不大的被扫描物体提出了一种能够有效校正相位测量轮廓术量化误差的算法测量相位中的每一个像素点利用其相邻像素点进行校正实验结果显示校正之后相位量化误差标准差减小了相位测量的精度得到了提高关键词相位测量轮廓术量化
第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
26 11 Vol.26 No.11
年 月 ,
2014 11 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS
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