纳米三坐标测量仪轮廓仪形貌仪-仪器信息网.pdf

纳米三坐标测量仪（轮廓仪、形貌仪） 德国 Klocke 公司的 Nanofinger 是一种兼具原子量级分辨率和厘米级线性行程的纳米定位与测 量系统，系统测量范围大，且具有极高的空间三维精度。可在 50mm x 50mm x20mm 的空间范围内 实现分辨率 1nm 的三維坐标测量，跨越 8 个数量级。 该设备的除涵盖一般轮廓、形貌测量设备的功能外，最突出的特点是可以进行三维高精度坐标 测量，这是其他设备无法做到的。与普通的三坐标测量相比，该设备的测量精度、分辨率要高出几 个数量级。