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第卷第期光学精密工程年月文章编号液体微滴靶激光等离子体光源实验尼启良中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春摘要基于的惰性和在波段高的辐射强度被认为是极紫外投影光刻潜在的靶材为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体极紫外光源详细地研究了液体微滴喷射靶的光谱辐射特性在的激光转换效率辐射稳定性及碎屑产生状况实验结果表明在的最高转换效率可以达到辐射稳定性在激光打靶次后无碎屑产生关键词液体微滴喷射靶激光等离子体光源极紫外投影光刻中图分类号文献标识码收稿日期修订日期基金项
第 卷 第 期 光学 精密工程
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Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．６
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
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