招标规范书修订-乾式光阻去除机.DOC

國家奈米元件實驗室 廢氣配管工程規範目錄 頁次 一、 說明 二、 採購標的規範及數量 三、 未來擴充情形 四、 履約期限 五、 驗收標準 六、 保固 說明 本規範適用於國家奈米元件實驗室100級無塵室與10000級無塵室一般排氣、有機排氣與製程尾氣廢氣配管工程。本規範如有任何疑慮業主解釋為準。100級無塵室一般排氣120 mm水柱酸排氣負壓約170 mm水柱有機排氣負壓約150 mm水柱10000級無塵室一般排氣負壓約10 mm水柱酸排氣負壓約170 mm水柱採購標的規範及數量Fusion O3廢氣配管規範及數量 有機排氣1組 使用端接頭4吋 (機台端至一般排氣主管) 材質：不鏽鋼亮面鐵皮風管 管徑：100mm 機台使用端含風門一組 由有機排氣主管路開馬鞍以4吋不鏽鋼亮面鐵皮風管銜接至機台端Fusion O3新位置上方無有機氣吋 Mattson P.R strip 廢氣配管規範及數量 製程排氣組使用端接頭NW40共組 材質：304無縫不鏽鋼管 管徑：mm 幫浦出口端：NW40含球閥一組mm 304無縫不鏽鋼管不鏽鋼材質：鍍鋅鐵皮風管 管徑： mmm 閥件箱銜接端含風門廢氣配管規範及數量 一般排氣2組 使用端接頭： KF 40 材質：鍍鋅鐵皮風管304無縫不鏽鋼管 管徑：100mm 4吋鍍鋅鐵皮風管機台使用端含風門一組 304無縫不鏽鋼管 承包商必須確定管路能夠完整的安裝於前段廢氣處理設備上並現場上之空間安排上，預留足夠空間保養設備。(清洗廢氣管路、清洗前段廢氣處理) 機台擺放位置與風管主管垂直相關位置、穿牆與樓板部分即施工難度，請參予投標廠商務必進行現場丈量與評估。 管路走向與位置安排請至現場勘查與丈量，並與承辦人協調後始可施做。 幫浦出口端以後製程排氣管路，需考量未來清洗拆裝。需以銜接方式進行，各單根管件長度不得超過3m，寬度及高度不得超過1m。 各類排氣管路須有足夠支撐架，支撐架3米。一般排氣需於明顯處(依業主需求)標示排氣類別與方向。 管路與高架地板切割必需至潔淨室緩衝區進行切割，不得於現場(無塵室內)切割。每日施工完畢後需清理工作區域，並恢復原狀。 履約期限 驗收標準 依據規範書所載明之各廢氣風管尺寸與材質、銜接點數進行驗收。 製程排氣管路幫浦須能迅速(15mi)抽至幫浦本實驗室將以氦測漏儀對各焊道與管路進行氦測漏。因測漏造成延誤驗收期限及相關罰款問題，廠商需自行負責) 保固 保固一年 國家奈米元件實驗室 NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES 招標案號：106 頁 數 PAGE: 5 OF 5 購案名稱：廢氣配管工程 本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. filename：Anelva ILD-4100 Metal Etcher、JETFIRST、UHVCVD、Fusion O3廢氣配管工程規範