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纳米材料修饰ITO电极的皮电传感器研究-电子器件
第４０卷 第４期 电 子 器 件 Ｖｏｌ４０ Ｎｏ４
２０１７年８ 月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ａｕｇ. ２０１７
Ｒｅｓｅａｒｃｈ ｏｎ ｔｈｅ ＧＳＲ Ｓｅｎｓｏｒ ｏｆ ＩＴＯＥｌｅｃｔｒｏｄｅ Ｍｏｄｉｆｉｅｄｂｙ Ｎａｎｏｍａｔｅｒｉａｌｓ∗
１ １∗ １ ２
ＺＨＡＮＧ Ｃｈｕｎｊｉｏｎｇ ꎬＣＨＥＮ Ｌｉｗａｎ ꎬＹＡＮＧＺｈｅｎ ꎬＬＩ Ｈｏｎｇｂｉｎｇ ꎬ
１ １ １
ＣＨＥＮ Ｑｉａｎｇ ꎬＬＩＵＳｈａ ꎬＬＩＵＺｉｌｕ
(１.Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ａｎｄ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇꎬＣｈｏｎｇｑｉｎｇ Ｔｈｒｅｅ Ｇｏｒｇｅｓ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＣｈｏｎｇｑｉｎｇ ４０４１００ꎬＣｈｉｎａꎻ
２.Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇꎬＣｈｏｎｇｑｉｎｇ Ｔｈｒｅｅ Ｇｏｒｇｅｓ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＣｈｏｎｇｑｉｎｇ ４０４１００ꎬＣｈｉｎａ)
Ａｂｓｔｒａｃｔ:Ａｉｍｉｎｇ ａｔ ｔｈｅ ｐｒｏｂｌｅｍｓ ｏｆ ｓｍａｌｌ ａｍｐｌｉｔｕｄｅꎬｌｏｗ ＳＮＲ ａｎｄ ｄｉｆｆｉｃｕｌｔ ｔｏ ｏｂｔａｉｎ ａｃｃｕｒａｔｅ ｔｈｅ ＧＳＲ(Ｇａｌｖａｎｉｃ
Ｓｋｉｎ Ｒｅｓｐｏｎｓｅ)ｏｆ ｈｕｍａｎ ｓｋｉｎꎬｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ(ＩＴＯ)ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ ｗａｓ ｕｓｅｄ ａｓ Ｉｎ Ｏ (ＩＴＯ)ｆｉｌｍ ｄｏｐｅｄ ｗｉｔｈ Ｓｎꎬｔｈｅ
２ ３
＝
Ｚ ｔｙｐｅ ｓｔｒｏｎｔｉｕｍ ｃｏｂａｌｔ ｆｅｒｒｉｔｅ Ｓｒ (ＣｕＺｎ) Ｃｏ － Ｆｅ Ｏ (ｘ ０.３)ｓｕｒｆａｃｅ ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ ｌａｙｅｒ ｏｆ ｃｏｐｐｅｒ ａｎｄ ｚｉｎｃ ｔｈａｔ
３ ｘ ２(１ ｘ) ２４ ４１
ｗａｓ ｕｓｅｄ ａｓ ａｎ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｅｄｉａｔｏｒ ｔｏ ｍａｋｅ ａ ｎｅｗ ｔｙｐｅ ｏｆ ＧＳＲ ｓｅｎｓｏｒꎬｅｎａｂｌｅｓ ｅｆｆｉｃｉｅｎｔｌｙ ｔｏ ｃａｐｔｕｒｅ ｔｈｅ ＧＳＲ ｓｉｇｎａｌ.
Ｔｈｅ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ ｔｈｅ ｓｅｎｓｏｒ ｗａｓ ｓｔｕｄｉｅｄ ｂｙ ｖｏｌｔａｍｍｅｔｒｙꎬｔｈｅ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ ｒｅｓｕｌｔ ｉｎｄｉｃａｔｅｄ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｓｅｎｓｏｒ ｈａｓ
－ ＝
ｏｂｖｉｏｕｓ ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ ａｃｔｉｖｉｔｙ ｏｎｔｈｅ ｓｋｉｎꎬａｎｄｔｈｅｌｉｎｅａｒ ｒａｎｇｅ ｉｓ ０.２ μＶ~０.２ μＶꎬｕｎｄｅｒ ｃｅｒｔａｉｎ ＳｎＯ ∶Ｉｎ Ｏ
２ ２ ３
＝
１∶９ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓꎬｔｈｅｄｅｔｅｃｔｉｏｎｌｉｍｉｔｉｓ０.０９ μＶ/
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