微小角度的测量-浙江大学机械电子控制工程学欢迎您！.PDF

2015/6/1 第四章 微小角度的测量 居冰峰/刘伟庭 完成人： 居冰峰 杨克己 陈远流 孙韬 王文 白小龙 浙江大学 江苏中晶光电有限公司 目录 4.1 自准直仪的光学系统与测量原理 4.2 二维微角度传感器结构与原理 4.3 压电可调式安装座的原理与操作 4.4 二维微角度传感器的标定实验 1 2015/6/1 3 / 61 目录 4.1 自准直仪的光学系统与测量原理 4.2 二维微角度传感器结构与原理 4.3 压电可调式安装座的原理与操作 4.4 二维微角度传感器的标定实验 4 / 62 4.1 自准直仪的光学系统与测量原理 自准直仪是利用光学自准直原理将角度测量转换为线性测量的一 种计量仪器。它广泛用于小角度测量、平板的平面度测量、导轨 的平直度与平行度测量等方面，是机械制造、计量测试、科学研 究等部门必备的常规测量仪器! 光学自准直仪示意图 光电自准直仪示意图 特点：直接利用测微装置或可动 特点：以光电瞄准对线代替人工 分划板从分划板或读数鼓轮上读 瞄准线，测量准确度较高 出数值，精度低 2 2015/6/1 5 / 48 4.1 自准直仪的光学系统与测量原理 国际上生产光电自准直仪的国家主要有：德国、英国、美国、日本等。国际 上比较有代表性的光电自准直仪产品及主要技术指标见下表 测量范围 全程精度 分辨率 测量距离 厂商 型号 （” ） （” ） （” ） （m） ELCOMAT HR ±150 ±0.03 0.005-10 4 MOLLER ELCOMAT2000 ±1000 ±0.25 0.05 25 (德国) ELCOMAT3000 ±1000 ±0.25 0.005-10 25 TA80 ±15 ±0.25 0.1 5 Taylor Hobson DA20 ±20 0.2 0.01 5 (英国) DA400 ±400 4 0.1 5 Nikon ECA210AC 10 ±0.75 0.05 — ( ) 日本 ECA220AC 30 ±0.5 0.5 — 国外产品类型包含单坐标测量和双坐标测量，有鼓轮读数和数字显示，在