敞开式直线光栅尺-上海翰堡自动化装备技术有限公司.PDF

敞开式直线光栅尺 2008年9月 敞开式直线光栅尺 直线光栅尺在测量直线轴位置过程中没有 敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测 机械结构 任何其它机械传件。因此，它能消除以下 量的机床和系统。典型应用包括： 敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅 潜在误差源： • 半导体工业的测量和生产设备 尺和读数头，光栅尺和读数头间无机械接 • 滚珠丝杠温度特性导致的定位误差 • PCB电路板组装机 触。 • 反向误差 • 超精密机床，例如加工光学元件的金刚石 敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安 • 滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差 刀具，加工磁盘端面车床和加工铁氧体元 装面上。安装面的平面度直接影响直线光 件的磨床 栅尺精度。 因此，直线光栅尺已成为高精度定位和高 • 高精度机床 速加工不可或缺的必备条件。 • 测量机和比较仪，测量显微镜和其它精密 测量设备 • 直接驱动 以下产品信息 • 带内置轴承角度编码器 • 无内置轴承角度编码器 本样本是以前样本的替代版，所有以前版 • 旋转编码器 本均不再有效。订购海德汉公司的产品仅 • 伺服驱动用编码器 以订购时有效的样本为准。 • NC数控机床用直线光栅尺 • 接口电子设备 产品遵循的标准（ISO，EN等），请见样 • 海德汉数控系统 本中的标注。 欢迎索取，或访问 。 目录 概要 敞开式直线光栅尺 2 选型指南 4 技术特点 测量原理 测量基准 6 增量测量法 7 光电扫描 8 测量精度