fpd玻璃基板搬运机器人研究.pdfVIP

and J Technique蛹丽n接杜用技术应用 ————————1r———————一 q 囊璃毽褫搬运枫器瓜研! 丛明 棘晓飞 刘静 i会立 崔冬梅 大畦理工大学机械工程学院 【董要】本文综述玻璃基板搬运机器人的发展历史．分析玻璃基扳搬运机器人的典型结构，舟绍玻璃基板搬运机器 人的研究成果，撵讨殪聃堆扳搬运机器人的研究方法。 【关键词]平扳显示：搬运机器人；玻璃基扳 0引言 的变化。按玻璃基板的尺寸大小，我们可将其大致分为 Panel 平扳显示(Plat display。FPD)是继集成电路 后)玻璃基板三大类别，因此玻璃基板搬运机器人也相 (IC)之詹发展起来的又。大型产业”1，它与IC一起成为 电子信息产业的核心与基础。目前，FPD产业的世界销应分为小型、中型和大型玻璃基扳搬运机器人。 售额已达到1000亿美元，井仍将以15％的年增长率快速 上世纪90年代以前，玻璃基板基本上处于l、2代， 发展…．所以FPD有望成为世界上最具发展潜力的产业之其尺寸小、质量轻．FPD产业的制造工艺糊对简单，因 一● 此玻璃基板在FPD各制程间的传输大都以人工搬运方式 玻璃基板是FPD产业的关键基础材料之一．其对于或一些简单垃各来完成…。这种传输方式小仅严重制约 了FPD产业牛产效率的提高，还对玻璃基板造成很大程 FPD的重要性不亚于硅晶圆在半导体产业，Ii的地位。存 FPD产品生产过程中，玻璃基板不仅要承受强醴强碱和度的污絷。 高温的制程环境．还要具备较精密的表面平整度与’F面 上世纪90年代床，玻璃基扳的尺寸和质量开始增大． 起伏度。同时．FPD产业的制造过程要求高度自动化、FPD产业的生产效率逐渐提高．人工搬运方式不再适应 无人化。因此，搬运机器人被引入到FPD产业中，代替FPD产业的发展需求㈨。在这种情况F．国外些自动 人工搬运，实现玻璃基板的平稳搬运和精确定位”1。 化设备生产厂家开始研发适用于玻璃基扳搬运的机器人， 玻璃基板搬运机器人是一种应用于无尘或真卒环境 冈此．出现了小趔玻璃基扳搬运机器人。这种机器人负 下的传输用工业机器人，它主要应用在FPD产业中，联载承受能力低．但其大大提高了玻璃基扳的传输效率， 结前后段制程，并在各制程中实现玻璃基板的交换与传 减少了传输过程中对玻璃基板的污染。 递H。与传统工业机器人相比。玻璃基板搬运机器人具 2l世纪初，FPD产业迅猛发展，玻璃基板尺寸再度 有高刚度、高速度、高精度、高平稳性和高洁净度的特 扩大，同时厚度逐渐减小。为满足玻璃基板的高平稳性 5了嚣种 点㈣。因此，玻璃基扳搬运机器人现已成为FPD产业关高速度和高洁净度的传输需求．国外X先后推}i 键设备之一。 类型的一}_型玻璃基板搬运机器人，并研究了适台玻璃基 板搬运机器人的关键技术和戈键部件，申请了些有关 I。 I玻璃稿扳搬运机器人 玻璃基板搬运机器人结构设计方面的专利f 1 1玻璃基板搬运机器人概速 近年来，玻璃基板出现了两个明显的发展趋势：玻 璃基扳尺寸的大型化和中