mems密闭腔内微气流的挤压膜阻尼效应研究 squeeze film damping effect of the micro airflow in a mems sealed chamber.pdfVIP
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mems密闭腔内微气流的挤压膜阻尼效应研究 squeeze film damping effect of the micro airflow in a mems sealed chamber
No.1l
第21卷第11期 传感技术学报 v01.21
CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS
2008年11月 JOURNAL Nov.2008
Film EffectoftheMicroAirflowinaMEMSSealedChamber。
SqueezeDamping
LI
Li-weih,ZHURong2,ZHOUZhao--yin92,RENJian-xin91
SourcesandEnviromnent Electric
Engineering.Shanghaiof Power,Shanghai
,1.Energy University 200090,China;、
PrecisionInstrumentsand 100084,China ,
\2.Dept.of Mechanology。TsinghuaUniversity,Beijing
Abstract:Thefilm effectbetweentheair andthePZTactuatorina sealedchamberis
squeezedamping gap
effectandthe methodutilizedtO the
the are
analyzed.Bothgasdamping Rayleigh-Ritzenergy investigate
effectbetweenthemicroairflowanditsactuator,Theair distributionofthemicroairflow
coupled pressure
isdetermined thenondimensionalizedandlinerizedisothermal
bysolving compressible
andcombinedwiththesealed condition.Themodelof film-
pressureboundary coupled
microairflowisderived tothe method.By theundeterminedCO—
accordingRayleigh—Ritzenergy comparing
efficientAofthe functionwithoutmicroairflowandtheundeterminedcoefficientA’withmi-
displacement
of film on
croairflow,theair factorisextracted.The microairflow
damping influencing squeezedamping
PZTactuatorcanbeexhibitedsuchair the th
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