mems继电器典型结构及其研究进展 typical structures and developing trends of mems relays.pdfVIP

下载本文档

4
0
约2.61万字
约 5页
2017-09-05 发布于上海
举报
版权申诉

mems继电器典型结构及其研究进展 typical structures and developing trends of mems relays.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

mems继电器典型结构及其研究进展 typical structures and developing trends of mems relays

201 and 1年第30卷第7期传感器与微系统(TransducerMicrosystemTechnologies) 右、声吣声咕p乜，斗咕，、心o ’综述与评论l ■、pp毋p《s、# MEMS继电器典型结构及其研究进展黄虎，尤政，阮勇，张弛 (清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室。北京100084) 摘要：综述了目前国内外主要MEMS继电器的原理和典型结构，包括静电型、电磁型、电热型、液态型及混合型微继电器，并对各种类型微继电器的特点进行了比较。关键词：微机电系统；继电器；典型结构 581 中图分类号：TM 文献标识码：A 文章编号：1000--9787(2011)07-0001-04 structuresand trendsofMEMS Typical developing relays HUANG Chi Hu，YOU Yong，ZHANG Zheng，RUAN ofPrecisionMeasurementand of (StateKeyLaboratory TechnologyInstruments，Department PrecisionInstrumentsand Mechanology，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) of basedonMEMS athomeandabroad and structuresMEMS Abstract：The typical relays technology principles aresummarized．ThecharacteristicsofvariousMEMSsuchas relay and MEMS ale liquid-filledhybrid relayscompared． words：micro-electro-mechanical structure Key system(MEMS)；relay；typical 0引言 1．1 悬臂梁式结构 S等人制作的单端悬臂梁式继继电器是广泛用于信息处理、通信、控制、机电一体化图1是美国Majumder 等领域的重要元器件之一。随着航天和微小卫星技术的大电器的结构示意图。该继电器有2个接触电极，分别连接力发展，对于继电器小体积、低功耗的要求越来越迫切，传输入和输出信号，使得开关部分的信