mems中永磁材料的微细加工技术研究进展 research development of micromachining technologies of permanent magnetic materials in mems.pdfVIP

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2017-09-05 发布于上海
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mems中永磁材料的微细加工技术研究进展 research development of micromachining technologies of permanent magnetic materials in mems.pdf

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mems中永磁材料的微细加工技术研究进展 research development of micromachining technologies of permanent magnetic materials in mems

201 and 1年第30卷第5期传感器与微系统(TransducerMicrosystemTechnologies) 彳、≯opppq÷、日 ’综述与评论≮ ’屯一一≮一一—s、’} MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展木陶凯1，丁桂甫1，杨卓青1，王佩红2，吴义伯1，汪红1，王艳1 (1．上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室。上海200240； 2．安徽大学物理与材料科学学院。安徽合肥230039) 摘要：概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展，总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状，并对未来的发展方向提出了一些观点。关键词：微机电系统；永磁材料；永磁薄膜；微细加工中图分类号：TM273 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2011)05-0001--04 Research development．ofmicromachiningtechnologies of materialsinMEMS木 permanentmagnetic TAO Yahl Kail。DINGGui—ful。YANGZhuo．qin91，WANGPei．hon92，WUYi．b01，WANGHon91，WANG Scienceand of InstituteofMicro／Nano (1．Research Technology，NationalKeyLaboratory Nano／MicroFabrication forThinFilmandMicrofabricationof Technology，KeyLaboratory of MinistryEducation，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China； 2．Schoolof andMaterial Physics Science，AnhuiUniversity，Hefei230039，China) Abstract：Recentin methodsof materialsinthe progressintegratedmicromachiningpermanentmagnetic ofmicro—electro-mechanicalreviewed．Four of major application systems(MEMS)is manufacturingtechnologies laser micro-bonded magnetic deposition(PLD)and permanentfilms，includingelectro—deposition，spuuef