mos气敏传感器阵列优化与工作温度选择 array optimization and the working temperature selection of mos sensors.pdfVIP

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2017-09-05 发布于上海
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mos气敏传感器阵列优化与工作温度选择 array optimization and the working temperature selection of mos sensors.pdf

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mos气敏传感器阵列优化与工作温度选择 array optimization and the working temperature selection of mos sensors

第2l卷第6期传感技术学报 v01．21No．6 2008年6月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Jun．2008 Sensors+ andthe SelectionofMOS ArrayOptimizationWorkingTemperature PENG Shun—ping，LIHua—yao，XIEChang—sheng‘ Jing，ZHANG and State Plastic SimulationMould ，The KeyLaboratoryof Forming Technology，、 MaterialScienceand Scimceand 430074，China} Departmentof Engineering，HuazhongUniversityof Technology，Wuhan andthe selectionofsensor could Abstract：Througharrayoptimizationworkingtemperature array improve the sensor and the the sensor of reduce array selectivity array powerconsumption．Inexperiment，agas consistedoftenTGSsensorswasusedtotestbenzene，toluene，methanol，ethan01atdifferentconcentra- of selec— tionswhensensor workedatdifferent fourmethodsfeature arrays temperatures．Then，through tionfor DFAresultsof featureatdifferent were arrayoptimization，the optimal temperaturescompared． Resultsshowdthatitcould correct rateincreasedto1 00％from91．7％) recognition improveselectivity(the of the V withthe andreduce sensor at best 4．4 powerconsumptionarray workingtemperaturecomparing work 5，0矿 traditional temperature words：sensor selection