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Ru籽晶层对CoCrPt-SiO2垂直记录层形貌及结构-昆明贵金属研究所
2015 年 5 月 贵 金 属 May 2015
第 36 卷第 2 期 Precious Metals Vol.36, No.2
Ru 籽晶层对 CoCrPt-SiO2 垂直记录层形貌及结构的影响
1 1 1 1 1 1 * 2
张俊敏 ，王传军 ，沈 月 ，谭志龙 ，毕 珺 ，闻 明 ，周砚田
(1. 昆明贵金属研究所 稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106 ；
2. 瓦房店轴承股份有限公司，辽宁 瓦房店 116300)
摘 要：采用磁控溅射方法，制备了以不同厚度Ru 薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2 垂直磁记录薄膜。
利用原子力显微镜(AFM) 、透射电镜(TEM)分析 Ru 薄膜的结构和形貌，并研究了其结构对
CoCrPt-SiO2 薄膜表面形貌、粗糙度及结构的影响。结果表明，CoCrPt-SiO2 记录层的晶粒尺寸和粗
糙度均随着 Ru 籽晶层厚度的增加而增加，薄而粗糙的籽晶层适合于高密度磁记录介质。对于
CoCrPt-SiO2 记录层晶粒的优化，厚度为70 nm 的Ru 籽晶层有利于记录层薄膜晶粒的完全隔离，从
而提高了磁记录性能。
关键词：金属材料；垂直磁记录介质；CoCrPt-SiO ；Ru 籽晶层；薄膜结构；微观形貌
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中图分类号：O441.6 文献标识码：A 文章编号：1004-0676(2015)02-0023-06
Effects of Ru Seed Layer on Structural Properties of CoCrPt-SiO Perpendicular Media
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