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微系告涂瑜芸廷逸洪尚祺立言指老承鑫老物理感器和行器摘要接式性器如容位移感器是一改的梳形高分辨率的位移感器感器示明提高了敏度而不在可量的少一改是由最大限度的提高容通少大小位移的化增加量以及在梳型感器接的隙少然而由於提高感器的敏度它出信生何非理想特性的影如加工差而在的容式位移感器於和一相大的隙可以忽略不然可以最小化或由雇用一相的器或微分操作非理想特性的影但些解方案法理感器表面廓的影此感器的操作在定致差距化反致漂移中的出信漂移很因它取於位移和差距化所造成的低率元件在此研究中提出了一方法量少非理想性的使
微機電系統報告
組員:涂瑜芸
顏廷逸
楊 傑
洪尚祺
盧立言
指導老師: 莊承鑫老師
物理傳感器和執行器
摘要
接觸式線性編碼器如電容位移感應器(CLECDiS)是一種改進的梳形高分辨率的位移傳感器。該感應器顯示明顯提高了靈敏度，而不在可測量的範圍內減少。這一改進是由最大限度的提高電容響應通過，減少單個電極大小位移的變化、增加數量電極
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