CIC科技与生活奈米缩小军愈小愈小的IC科技中兴大学电机系.PDF

3C IC科技與生活 奈米縮小軍- 愈小愈小的 IC科技 張書通 國立中興大學電機系暨光電所 張書通 副教授 學歷：台大電機博士 經歷 ：1.工研院電子所顧問 2.中原電子助 理教授 研究領域 ： 1.矽鍺半導體技術 2. TCAD 元件製程與模擬 3.新型奈米CMOS 元件研究 1 2 Solar Cell模擬 3 Ge NCs LED HfAlO Ge dot Si Strained Si NMOS 1 奈米是啥？？IC ？？ 奈米的兩大分支： Top-down電子積體電路技術 (IC) Bottom-up 生化材料…… 2 Gordon Moore Intel 創辦人 3 Intel 英特爾: 每兩年準時推出新技術(On-Time 2 Year Cycles) 130 nm 90 nm 65 nm 45 nm 32 nm 2001 2003 2005 2007 2009 291 Mb SRAM 2ND gen. HK+MG INTEL Adopt Strain Si Tech since 2002 INTEL 90nm 1st Gen. St-Si Tech. Strain can alter the distance PMOSbetween two Si atoms NMOS ~20% e-MOBILITY ~50 % h-MOBILITY enhancement enhancement 4 Why Strain: Very Impressive Performance Intel Intel 2004 IEDM Intel (1st Gen. strained Si) (2nd Gen. strained Si) 3rd Generation Strained Si INTEL 45 nm TN@2007