背面曝光技术制沙漏状！射线组合折射透镜！.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 L( $ ’ $ ， ， ， C/: AL( Y/ A $ P,+.Z ’ （ ） !*$’U’UL( $ U !LD*L NVN OWX?QN ?QYQN ’ Z83 A OZ-; A ?/. A 背面曝光技术制作沙漏状 射线组合折射透镜! ! ）） ） ） ）） ） ） ! ! # ! ! $ % 朱艳青 梁静秋 梁中翥 黄鑫华 乐孜纯 伊福廷 ） ） ） ） ） ）） % % $ ! % ! 侯凤杰 黄万霞 董 文 王维彪 王志立 崔乃迪 !）（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春 !$$$ ） ）（中国科学院研究生院，北京 !%’ ） $ ）（浙江工业大学，杭州 $!$ ） % ）（中国科学院高能物理研究所，北京 !%’ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ( % ! ( ( % 在分析沙漏状 射线组合折射透镜（ ， ）的折射聚焦理论的基础上，设计并利 ) )*+,- ./01/234 +56+,.7895 :53; )= 用背面曝光技术制作了?@*( 材料的沙漏状)=，该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤，使制作更加 简便易行 在 单色 射线辐射下，对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试，结果表明，所制作的透镜较好 A ! B5C ) 地实现了一维聚焦A 关键词：组合折射透镜，背面曝光，沙漏状， ?@*( ： ， #$$ ’ D!( 的实现受制作工艺的限制； 等人提出了沙 OS+533T; ［ ］ ! 引 言 漏状透镜