ETD系列溅射仪安装指引.PDF

ETD系列溅射仪安装指南 目录  溅射室与真 空泵排气管 的连接  真空泵油的 加装  真空泵的电 源连接  靶的安装与 检测 安装溅射室排气胶管 1. 摘除真空泵接口 2. 换上排气管及其接口 真空泵油的加装 注意观察油窗，油面水平 应在1/2或1/3之间 打开真空泵 上的注油口 盖，将真空 有注入。 真空泵电源连接 连接地(G) 线 连接零(N)线 连接火(L)线 靶的安装与检测 1. 零件名称 靶材 靶托 固定环 阴极罩 靶的安装 将靶材放入固定环中 将靶托旋入固定环中 背面效果 靶面效果 靶的安装与检测 阴极螺栓 打开溅射室上盖 固定环 将带靶材的 靶托旋进 注意：留出 2mm间距 阴极螺栓 将阴极罩旋进上盖，注意，与固定环保 阴极罩 持2mm以上距离，并宁紧固定螺钉 蒸碳附件的安装 A 钨丝篮 1. 将钨丝篮两 端固定在两 ~ 10V 个电极上。 B 等效电路图 A 2. 使用时将碳绳剪 B 城段放入钨丝篮 中。 3. 千万不可将碳绳 两端搭在两个电 极上！！！ 安装完成了！但是…… 注意： • 初次安装时，厂家已经将靶材安装在阴极上，但是用户 需要移除运输防震垫片。 • 更换靶材时，一定要先将固定阴极罩的螺钉拧下，然后 再旋出阴极罩和靶托。 • 因为阴极罩和靶托及固定环都采用精细螺纹，所以旋进、 旋出时用力一定要轻柔，遇到较大阻力时反复退、进几 下，以免没有放正，用力过猛造成溢扣。 如有问题请联系：