共溅膜的结构与性能之研究-摩擦学学报.PDF

第 卷第 期 固 体 润 清 , , 年 月 研究论文 、 ’ 一 共溅膜 的结构与性能之研 究 王 其 明铃 徐锦芬 党鸿辛 中国科学 院兰 州 化学 物理 研 究所 固体润滑开放 研 究实验室 , 兰州 摘 要 作 者 利 用 扫描 屯 子 显 微 镜 、 一 射 线 衍射 仪 、 俄 歇 电子 能谱 仪 和 一射 线 光 电子 能谱 仪 等对 广 共 溅膜 的 形 貌 和 结 构进 行 了观 察 与分析 , 并 就 这种 膜 的厚 度 对付 磨 寿 命 的影 响 及 其 抗 湿 性 与 溅 射膜 的作 了比 较 , 认 为共 溅膜 的柱 状 聚集体 结 构 是 其 具 有 良好 性 能 的 原 。