化学气相沉积法制备的石墨烯晶畴的氢气刻蚀王彬冯雅辉-物理学报.PDF

化学气相沉积法制备的石墨烯晶畴的氢气刻蚀 王彬 冯雅辉 王秋实 张伟 张丽娜 马晋文 张浩然 于广辉 王桂强 Hydrogenetchingofchemicalvapordeposition-growngraphene domains WangBin FengYa-Hui WangQiu-Shi ZhangWei ZhangLi-Na MaJin-Wen ZhangHao-Ran Yu Guang-Hui WangGui-Qiang 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,098101(2016) DOI: 10.7498/aps.65.098101 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.65.098101 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2016/V65/I9 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 基于石墨烯互补超表面的可调谐太赫兹吸波体 Tunableterahertzabsorber basedoncomplementarygraphene meta-surface 物理学报.2016,65(1): 018101 /10.7498/aps.65.018101 含石墨烯临界耦合谐振器的吸收特性研究 Studyontheabsorbingpropertiesofcriticallycoupledresonator with graphene 物理学报.2015,64(23): 238103 /10.7498/aps.64.238103 单层石墨烯带传输模式及其对气体分子振动谱的传感特性研究 Transmissionmodeofasinglelayergrapheneanditsperformanceinthedetectionofthevibrationspec- trumofgasmolecular 物理学报.2015,64(19): 198102 /10.7498/aps.64.198102 石墨烯-六方氮化硼面内异质结构的扫描隧道显微学研究 Scanningtunnelingmicroscopystudyofin-planegraphene-hexagonal boron nitride heterostructures 物理学报.2015,64(7): 078101 /10.7498/aps.64.078101 石墨烯衍生物作为有机太阳能电池界面材料的研究进展 Recentprogressingrapheneanditsderivativesasinterfacial layers in organicsolar cells 物理学报.2015,64(3): 038103 /10.7498/aps.64.038103 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 65, No. 9 (2016) 098101 化学气相沉积法制备的石墨烯晶畴的氢气刻蚀 王彬 冯雅辉 王秋实 张伟 张丽娜 马晋文 张浩然 于广辉 王桂强 1) (渤海大学新能源学院, 辽宁省光电功能材料检测与技术重点实验室, 锦州 121013) 2)(上海微系统与信息技术研究所, 功能材料国家重点实验室, 上海 200050) ( 2015 年11 月24 日收到; 2016 年1 月30 日收到修改稿) 利用化学气相沉积法在抛光铜衬底上制备出六角形石墨烯晶畴, 并且在高温条件下对石墨烯晶畴进行氢 气刻蚀, 利用光学显微镜和扫描电子显微镜对石墨烯晶畴进行观测, 发现高温条件下石墨烯晶畴表面能够被 氢气刻蚀出网络状和线状结构的刻蚀条纹. 通过电子背散射衍射测试证明了刻蚀条纹的形态、密度与铜衬底 的晶向有密切关系. 通过对比实验证明了石墨烯表面上的刻蚀条纹是由于石墨烯和铜衬底的热膨胀系数不 同, 在降温过程中, 石墨烯表面形成了褶皱, 褶皱在高温氢气气氛下发生氢化反应形成的. 对转移到二氧化硅 衬底的石墨烯晶畴进行原子力显微镜测试, 测试结果表明刻