半导体晶圆生产线调度的性能指标体系研究.pdfVIP

( ) 第 35 卷第 4 期 同 济 大 学 学 报 自然 科 学 版 Vol . 35 No . 4 2007 年 4 月 ( ) 　Ap r . 2007 J OU RNAL OF TON GJ I UN IV ER SIT Y NA TU RAL SCIEN CE 半导体晶圆生产线调度的性能指标体系研究 乔 　非 ,许潇红 ,方 　明 ,吴启迪 ( 同济大学 电子与信息工程学院 ,上海 　200092) 摘要 : 针对半导体晶圆生产线调度 ,提出了由用于日生产计划的调度方案对比的短期性能指标 ,和用于每 日投料计 划的、实施分析的长期性能指标组成的半导体晶圆生产制造系统的性能指标体系. 其中 ,短期性能指标分为与产品 有关的在制品值 、移动步数和移动速率 , 以及与设备有关的设备利用率 、负载程度 、排队队长和瓶颈率 ;长期性能指 标主要包括产品的加工周期 、流程参数和生产率. 在此基础上 ,设计并实现了半导体晶圆生产线调度性能评价系 统 , 以指导半导体车间的实际生产. 该系统已经在工厂中得到应用. 关键词 : 半导体晶圆生产线 ; 性能指标 ; 甘特图; 瓶颈预测 ( ) 中图分类号 : TP 273 　　　　　　　文献标识码 : A 　　 　　　　　文章编号 : 0253 - 374X 2007 04 - 537 - 06 Performance Evaluation Sy st em for Sche duling Semiconductor Wafer Pro duct Line QIA O Fei , X U X iaohong , FA N G M i ng , W U Q i di ( School of Electronics and Information Engineering , Tongji Universit y ,Shanghai 200092 ,China) Ab stract : A performance evaluation system ,which consist s of short - term performance indices and long - term performance indices ,is p resented for scheduling semiconductor wafer p roduction line . The short - term performance indices aim to evaluate t he daily p roduction plans ,and include two t ypes ,i . e . p roduct - related performances indices ( such as Work In Process ,movement and step ) and equip ment