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曝光机操作规程
曝光机操作规程
修订
日期 修订
单号 修订内容摘要 页次 版次 修订 审核 批准 2011/03/30 / 系统文件新制定 4 A/0 / / /
批准: 审核: 编制:
曝光机操作规程
1 目的
正确指导员工操作,提高工作效率,提高产品品质,规范生产管理
2 范围
生产部曝光工序全体员工
3职责
生产部曝光工序人员负责设备操作
4相关文件
4.1SY-QC-04《曝光工序工艺规程》
5曝光机操作规程
5.1检查冷却水循环是否正常;
5.2开启电源;
5.3按下启动开关(Start)按LCD显示屏,选择中文操作系统;
5.4按下主画面上之“启动开关”,启动主系统;
52.5按下“灯源系统”进行点灯动作;
5.6将“曝光方式”设定在手动“框架前进”设定在自动,并开启黄灯;
5.7按曝光尺设定和调整曝光能量;
5.8清洁台面后将待曝光板置于玻璃与MYLAR中
5.9按吸真空开关,并用手轻压MYLAR关紧框架;
5.10按框架前进按钮,使框架进入曝光室进行曝光;
5.11当上框架进行曝光时,可在下框架放置待曝光板,重复第1.8—1.10之步骤,上、下框架交替使用;
5.12操作完毕按主画面之“关机开关”选择“是”,关闭电源,关闭冷却水循环。
6相关记录表格
6.1设备日常维护记录
设备日常维护记录
部门:
工序: 序号:
设备名称 型号 设备编号 年 月 日 项目
日期 安全装置 调节器 油、水、气通道 过滤器 传动部位 滑动部位 防锈处理 卫生清理 其它 签名 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 注:无此项,请从横格的左下角至右上角画一条斜线“/”,已做项目,请打“√”,未有的保养项目请在其它里面填写。
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