微纳米加工技术在纳米物理与器件研究中的应用.pdfVIP

微纳米加工技术专题 微纳米加工技术在纳米物理与器件研究中的应用! . 顾长志 - - 罗- 强- - 杨海方- - 金爱子- - 李俊杰- - 王宗利- - 王- 强 徐- 鹏- - 全保刚- - 岳双林- - 黄- 阳- - 时成瑛 （中国科学院物理研究所凝聚态物理国家实验室- 北京- /00010 ） 摘- 要- - 物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料不同的物理特性，这正是纳米科技发展的基础之一 要想探索 在纳米尺度下材料物理性质的变化规律及可能的应用领域，离不开相应的技术手段 微纳米加工技术作为当今高 技术发展的重要技术领域之一，是实现功能人工纳米结构与器件微纳米化的基础 本文根据几个不同的应用领域， 介绍了微纳米加工技术在纳米物理与器件研究领域的应用 关键词- - 微纳米加工技术，人工纳米结构，纳米物理与器件 !#$%’$()* (+ ,$%-( . ))(+/-$%’$() $) ))(*%#0 12*$%* )3 304$%0* . 23 4!*,567!) - - 839 :)*,5- - ;=2 *)6?*,5- - @A= )67)- - 8A @’,6@)B- - C=2 7D,568) C=2 :)*,5- - E3 FB,5- - :3= G*D62*,5- - ;3H I!’*,568),- - 3=2 ;*,5- - IA 4!B,56;),5 （!#$#% ’()#*%(+ ,(-*.()*./ 0*. 1*%2%32 4()). 56/3#73 ，8%3)#)9) *0 56/3#73 ， 16#%3 :7(2;/ *0 7#%73，!#$#% ，/00010，16#%( ） !/*’-%’5 5 =*,DJ+*(B K*BL)*(J BM!)N) ,DOB( #!PJ)+*( #LD#BL)BJ Q)RRBLB, RLDK K*+LD JPJBKJ ，%!)+! !*J (BQ D !B L)JB DR ,*,DJ+)B,+B *,Q ,*,DB+!,D(D5P A )J ,B+BJJ*LP D QBOB(D# *##LD#L)*B KB!DQJ D J’QP !B #LD#6 BL)BJ DR J’+! K*BL)*(J *,Q !B)L #DB,)*( *##()+*)D,J S)+LD T ,*,DR*NL)+*)D, B+!,D(D5)BJ DRRBL * +D,LD((*N(B *##LD*+! RDL #*BL,),5 !B JL’+’LBJ *,Q QBO)+BJ QD%, D !B ,*,DKBBL J+*(B ，*,Q *LB L*#)Q(P R),Q),5 *##()+*6 )D,J ), K*,P R)B(QJ CB LBO)B% JDKB +’LLB, BM*K#(BJ ), !B LBJB*L+! D, ,*,DJ+*(B #!PJ)+J *,Q QBO)+BJ ,*,DJ+*(B #!PJ)+J *,Q QBO)+BJ 6027(-3*5 5 K)+LD T ,*,DR*NL)+*)D, ，*L)R)+)*( ,*,DJL’+’LB ， 小）、磁交换作用耦合长度、电子的平均自由程、电 /- 引言 子自旋退相干长度、激子扩散长度（/00 ,K ）等 只 要结构尺寸接近这些物理量的特征长度，材料的电 人们从理论和实验研究中发现，随着材料尺度