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物理气相传输法生长氧化锌晶体.pdf
43卷第1期 人 工 晶 体 学 报 v01．43No．1
兰Q!兰生!旦 !Q旦堡盟垒垦Q!兰!监堕垦旦堡垒垦兰!竖垒堕里型!翌：兰Q!堡
物理气相传输法生长氧化锌晶体
马剑平，刘 洋，藏 源
(西安理工大学电子工程系，西安710048)
摘要：以高纯氧化锌粉为升华源，采用物理气相传输法(PVT)法在1500oC下生长出了ZnO多晶体，生长速率达0．
24
mm／h。样品XRD测试和拉曼分析表明，无籽晶自发成核生长的ZnO多晶体不仅具有六方纤锌矿结构，而且具
mm／h以
有C轴方向择优生长特征。实验结果表明了PVT法可以进行大尺寸ZnO晶体的生长，并且可以达到0．2
上的生长速率。
关键词：ZnO晶体；物理气相传输；生长
中图分类号：078 文献标识码：A
ofZnO Method
Growth CrystalbyPhysicalVaporTransport
MA Yuan
Jian-ping，LIU玩愕，ZANG
ofElectronic of
(Department Engineering，XiknUniversityTechnology，xi，觚710048，China)
2 19November
(ReceivedAugust2013，accepted 2013)
ZnO were withoutseed
Abstract：The
crystalpreparedbyphysicalvaportranspon(PvT)methodusing
assublimationsource
zincoxide at about1500oC．and
powder high it§growth
highpurity temperature
ratewas than0．24mm／h．TheXRDresultsandRaman ofthe showthatthe
higher analysisgrownsample
ZnO withoutseednot haswurtzite alsohasthedirectionofthec-axis
crystalgrown only structure，but
characteristics．Theresults thataseed assistednucleationPvT is
preferredgrowth suggest crystal growth
tobeanovel for ZnO andsubstrateswithmore
expected crystalgrowthtechniqueproducingsinglecrystals
than0．2mm／h rat
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