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原子力显微镜的压电陶瓷非线性及图象畸变的校正-光子学报
31 10 Vol31 No10
2002 10 ACTA PHOTONICA SINICA October 2002
张冬仙 章海军
( , 310027)
研制了卧式原子力显微镜( AFM) 系统, 讨论压电陶瓷的非线性及AFM 图 畸变的软
件校正方法提出利用光束偏转法精确测定X Y 扫描器压电陶瓷的伸长量与控制电压之间的
相互关系, 得到压电陶瓷的非线性曲线; 根据非线性的偏离程度, 通过扫描软件对X 和 Y 方向
的扫描电压作逐点补偿, 据此有效地校正图 畸变并给出分别用未校正软件与校正软件扫
描获得的部分样品的AFM 图
AFM ; 非线性; 图 畸变; 校正
0
, AFM ,
1 2
( ST M) ( AFM) , ,
, AFM , ,
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, STM AFM AFM
1
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PZT
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3
PZT ,
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11
, , PZT , ,
, 1V, nm,
PZT ,
, ,
,
, AFM nm
, , , AFM
收稿日期: 2001-12-31
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5
PZT , , ,
1PZT , PZT PZ
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