5.废水排放标准-新吴区住房和建设交通局.docVIP

目 录 1、前言 2 2．验收监测依据 2 3．建设项目工程概况 2 3.1工程基本情况 2 3.2 生产工艺简介 3 3.3环评结论及环评批复意见 5 4. 污染物的排放及防治措施 10 4.1 废水排放及防治措施 11 4.2废气防治措施 14 4.3声源及防治措施 14 4.4固体废弃物的产生与处置 14 5、验收监测评价标准 15 5.1 废水排放标准 15 5.2 废气排放标准 15 5.3 噪声排放标准 15 6．验收监测内容及频次 15 6.1 废水监测 16 6.2废气监测 16 6.3噪声监测 16 7．质量保证措施和分析方法 16 8．监测结果与评价 18 9．环境管理检查 20 10．污染物总量核算 21 11．环评批复落实情况 22 12．验收监测结论 23 1、前言 美新半导体（无锡）有限公司是由美国美新半导体公司在无锡新区设立的一家外商独资企业，利用无锡国家高新技术产业开发区的良好的投资环境和优惠政策，引进最先进的技术和尖端设备，形成对包括中国甚至全球市场具有国际竞争力的新型IC产品，在国防、航空航天、汽车工业、医疗卫生以及消费类电子等领域有广泛的应用。 美新半导体主要从事集成电路微机械加速度传感器和集成电路微机械磁传感器等传感器的生产，经过多期生产规模的扩大，现有生产能力为集成电路微机械磁传感器集成电路微机械磁传感器2015 年2月25日建成。 2015 年5月27日经无锡新区建设环保局批准同意试生产。试生产期间各类设施运行稳定，具备“三同时”验收监测条件。 根据国家环保局第13号令《建设项目竣工环境保护验收管理办法》等有关文件的要求，受美新半导体（无锡）有限公司集成电路微机械磁传感器集成电路微机械磁传感器集成电路微机械磁传感器无锡集成电路微机械磁传感器集成电路微机械磁传感器集成电路微机械磁传感器集成电路微机械磁传感器集成电路微机械磁传感器集成电路微机械磁传感器表 主要原辅材料消耗一览表 技改前 技改前 增减量 48000片 48000片 0 约50g/片 光刻胶 4吨 4.0吨 0 酚醛树脂 50吨 25吨 -25吨 氢氧化四甲铵2.4%，其余为纯水 刻蚀液 KS6800 2吨 15吨 +13吨 NaOH：1.0-1.4%、C10H14N2Na2O8：4.9-5.1%、其余为水 KS6700 1吨 3.3吨 +2.3吨 KOH：20%、KMnO4：32%，其余为水 KS6600 1吨 3.9吨 +2.9吨 H2O2:1%、CH3COOH：1%，其余为水 Ar 320瓶 （瓶/40升） 320瓶 （瓶/40升） 0 / N2 400瓶 （瓶/40升） 400瓶 （瓶/40升） 0 / O2 120瓶 （瓶/40升） 120瓶 （瓶/40升） 0 / NiFe 0.2吨 0.2吨 0 镍铁合金 Ta 0.2吨 0.2吨 0 钽合金 NMP 3吨 40吨 +37吨 N-甲基吡咯烷酮 IPA 2吨 14吨 +12吨 异丙醇 铜电镀液 1.2吨 0.5吨 -0.7吨 CuSO41-2%、H2SO41%、丙烯酰胺0.1-0.5%、其余为水 0.5吨 0.5吨 0 非阴离子表面活性剂20-30%、服饰抑制剂20-30%、阴离子表面活性剂5-10%。 表 建设项目主要生产设备一览表 技改前 后 增减量 圆片切割机 DAD3350 1 1 0 紫外线固胶台 ESPIC 1 1 0 高温烘箱 STPH-201 2 2 0 高温传送设备 ESPIC 1 1 0 探针台 XR-2318 2 2 0 包装机 Trimp-2000 3 3 0 测试仪 customer made 12 12 0 激光打标机 Laser Scriber 1 1 0 磁性材料淀积设备 AJA sputter 1 1 0 Veeco PVD 0 1 +1 磁性材料量测仪 1 1 0 探针测试仪 Prober 1 1 0 光刻胶涂胶机 Prober 1 1 0 步进式光刻机 SVG90S Track 2 2 0 Contact align 0 1 +1 旋转清洗干燥机 SRD 3 3 0 离子刻蚀和沉积机 AJA IBE 1 1 0 Veeco CM350 0 1 +1 等离子去胶机 MATR