多层膜［Co85Cr5Pt］20的磁性、垂直磁记录特性和微结构-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 -’ ’ $$- ’ ， ， ， H,P 0-’ O, 0’ 1Q.EP $$- （ ） !$$$I#($/$$-/-’ $’ / !%’!I$6 1+M1 )=N;B+1 ;BOB+1 !$$- +RE8 0 )RSD 0 ;,A 0 多层膜［ ］的磁性、垂直磁记录 !#$ !%$ ’ () *+ 特性和微结构的关系! ）） ）） ） ） ） ! ! # ! ! ! 黄 阀 李宝河 杨 涛 翟中海 朱逢吾 !）（北京科技大学材料物理与化学系，北京 !$$$%# ） ）（金日成综合大学物理系，朝鲜平壤） # ）（北京工商大学数理部，北京 !$$$# ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$’ ( ! $$’ !! ! 采用磁控溅射法制备了性能优良的以 为缓冲层的［ ］多层膜，研究了溅射气压对［ ］多层 )* +, +. /)* +, +. /)* %- !- $ %- !- $ 膜微结构和磁性的影响 研究结果表明， 溅射气压对［ ］多层膜的微结构、垂直磁各向异性和矫顽力有 0 1. +,%- +.!- /)* $ 重要的影响 所有样品的有效各向异性常数 ，具有垂直磁各向异性 随着 气压增加，样品垂直膜面的矫顽 0 !233 4 $ 0 1. 力增加，但样品有效磁各向异性常数减小 在 溅射的 （ ）［（ （ ） （ ）］多层膜， 0 !56 )7 1. )* $ 89 / +,%- +.!- $ 5- 89 /)* !5- 89 $ 矫顽力达到 ，具有垂直各向异性，可作为垂直磁记录介质 原子力显微镜照片显示，随着 气压增加，表面 !#$ :1/9 0 1. 平均晶粒尺寸和粗糙度均增加 这是导致多层膜的垂直矫顽力增加和有效磁各向异性常数减小的原因 0