基底表面纳米织构对非晶四面体碳膜结构和摩擦特性的影响-物理学报.PDF

基底表面纳米织构对非晶四面体碳膜结构和摩擦特性的影响研究 安书董 王晓燕 陈仙 王炎武 王晓波 赵玉清 Effectofion-beamsurfacemodificationtechnologyonthe variation of surface texture AnShu-Dong WangXiao-Yan ChenXian WangYan-Wu WangXiao-Bo ZhaoYu-Qing 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,036801(2015) DOI: 10.7498/aps.64.036801 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.036801 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I3 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 纳米FePt颗粒：MgO多层复合薄膜的外延生长、微观结构与磁性研究 Epitaxial growth micro-structure and magnetic studies of FePt nanoparticles：MgO multi-layer composite thinfilms 物理学报.2014,63(16): 166801 /10.7498/aps.63.166801 高速率沉积磁控溅射技术制备Ge点的退火生长研究 StudyontheannealinggrowthofGedotsathighdepositionratebyusingmagnetronsputteringtechnique 物理学报.2014,63(15): 156802 /10.7498/aps.63.156802 硅油基底上受限金属薄膜自组装褶皱的原子力显微镜研究 Atomic force microscopy studies on self-organized wrinkles in constrained metallic films deposited on siliconeoilsubstrates 物理学报.2014,63(11): 116801 /10.7498/aps.63.116801 氢气引入对宽光谱Mg和Ga共掺杂ZnO透明导电薄膜的特性影响 InfluenceofH introductiononwide-spectrumMgandGaco-dopedZnOtransparentconductivethinfilms 物理学报.2014,63(3): 036801 /10.7498/aps.63.036801 包含硅量子点的富硅SiN 薄膜结构与发光特性 PhotoluminescencesandstructrueperformancesofSi-richsiliconnitridethinfilmscontainingSiquantum dots 物理学报.2013,62(12): 126801 /10.7498/aps.62.126801 物理 学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 3 (2015) 036801 基底表面纳米织构对非晶四面体碳膜结构和 摩擦特性的影响研究 王炎武 王晓波 赵玉清 安书董 王晓燕 陈仙 (西安交通大学电子与信息工程学院, 电子物理与器件教育部重点实验室, 西安 710049) ( 2014 年5 月30 日收到; 2014 年9 月11 日收到修改稿) 本文利用离子束表面改性技术对基底表面进行不同时间的轰击, 形成不同规则的纳米织构, 对不同织构 的变化规律进行了研究, 同时, 利用磁过滤真空阴极电弧技术, 在具有不同纳米织构的各基底上沉积相同时间 的四面体非晶碳薄膜. 采用原子力显微镜对各基底的织构进行形貌分析, 结果表明, 高能粒子束的轰击对基 底表面形貌有较大的影响, 根据离子束轰击时间的不同, 可以在基底表面形成各种不同规则的纳米织构, 轰击 15 min 后发现基底表面形成点阵纳米织构, 之后随着时间的增加, 基本维持点阵结构. 通过X 射线光