大曲率弧矢弯曲复合晶体的研制-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ ９ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．９ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ ９ Ｓｅ．２０１０ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１００９１９３００６ 　 大曲率弧矢弯曲复合晶体的研制 李中亮，康 乐，赵飞云，程显超，徐朝银 　 （中国科学技术大学 国家同步辐射实验室，安徽 合肥 ２３００２９） 摘要：为提升国家同步辐射实验室 射线吸收精细结构（ ）的光束线性能，提出将现有双平面晶单色器改造 Ｘ ＮＳＲＬＸＡＦＳ 成弧矢聚焦双晶单色器的思想。采取将晶体与钛合金复合的工艺，实现了晶体的大曲率弹性弯曲，并将其用作弧矢聚焦 晶体单色器中第二晶体的成像元件。鉴于 ＮＳＲＬＸＡＦＳ实验的光学要求，设计制作了复合晶体试验模型，通过有限元分 析计算和长程面形仪实际测量得到了不同弯曲半径下晶体的面形精度，并用激光模拟其聚焦性能。结果表明，在缩放比 为 ／ 时，样品上的成像束斑水平尺度（ ）由 （无聚焦）缩小到 ，光子密度提高了近一个量级。这些结 １３ ＦＷＨＭ ４３ｍｍ ３ｍｍ 果满足 ＮＳＲＬ在现有光源条件下提升 ＸＡＦＳ数据采集质量的要求。 关 键 词：复合晶体；弧矢聚焦；面型误差；弯曲；衍射 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ Ｏ７３３．２ＴＬ５４４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１９３０ 　　 　　 犇犲狏犲犾狅犿犲狀狋狅犳犪狊狊犲犿犫犾狊犪犻狋狋犪犾犳狅犮狌狊犻狀 犮狉狊狋犪犾狊 狆 狔 犵 犵 狔 狑犻狋犺犾犪狉犲犮狌狉狏犪狋狌狉犲狊 犵 ， ， ， ， ＬＩＺｈｏｎｌｉａｎ ＫＡＮＧＬｅ ＺＨＡＯＦｅｉｕｎ ＣＨＥＮＧＸｉａｎｃｈａｏ ＸＵＣｈａｏｉｎ ｇ ｇ ｙ ｙ （ ， 犖犪狋犻狅狀犪犾犛狀犮犺狉狅狋狉狅狀犚犪犱犻犪狋犻狅狀犔犪犫狅狉犪狋狅狉 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 狔 狔 狔 犳 ，