成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的-影像科学与光化学.PDF

下载文档 降价啦

1
0
约 10页
2017-09-15 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的-影像科学与光化学.PDF

1、本文档共10页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的-影像科学与光化学

18 1 Vo1. 18,No. 1 2000 2 PHOTOGR PHIC SCIENCE ND PHOTOCHEMISTRY Feb., 2000 应用与发展 * 薛永薰邬兰王鹏 ( , 300163) 感光材料, 成膜树脂,重氮萘醌体系, 抗蚀材料 () , . . PS . , . : , , [1] , ., ,., ,. , , . , , ,. ,, [2] 5 , . , [ 3] , . , , [ 4] . IBM , . , . , ,, 1999-04- 12 , 1999-11-25 . * 85 86 18 [5] , . (M.Hanabata) , ,, . . PS , PS . , . 1 ,, , , . , [ 6] ( R o) ,( Rp) . , , , ( ,, ) . , . , C [ 7] . ,. , 13 , C . 2, 3, 4-