- 1、本文档共72页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
5第五章真空等离子体与刻蚀技术
第五章 真空、等离子体
与刻蚀技术
5.1 真空与等离子体
主要内容
5.1.1 真空压力范围与真空泵结构
5.1.2 真空密封与压力测量
5.1.3 等离子产生
微电子工艺除了之前介绍的常压工艺外,还有的工艺需要在
真空腔室内进行,例如等离子体刻蚀。这里将介绍一些用于产生、
容纳、测量真空的基本设备。
5.1.1 真空压力范围与真空泵结构
初真空 0.1 Torr~760 Torr 10 Pa~105 Pa
中真空 10-4 Torr~10-1 Torr 10-2 Pa~10 Pa
高真空 10-8 Torr~10-4 Torr 10-6 Pa~10-10 Pa
超高真空 10-8 Torr 10-10 Pa
半导体加工中使用的大部分工艺设备,一般工作在初或者中真空段。
洁净的腔室在通入工艺气体前通常要抽到高或者超高真空段。
几种典型的真空泵结构
活塞式机械泵
吸气阶段,气体经过右侧阀进入汽缸。
压缩阶段,两个阀均关闭,气体被压缩。
排气阶段,气体经过左侧阀被排出到高
压力区。
旋片式机械泵
采用旋片代替活塞进行抽
气和压缩运动。
单级旋片式机械泵的终极
真空大约为20mTorr ,两级
泵则能达到1mTorr以下。
此类压缩泵工作时,水蒸
气的凝聚可能导致腐蚀。
需要泵油,可能会对真空
腔室产生污染。
获得高排量的途径: (1)增加每次抽吸的体积;(2 )增加泵的转速。
增压器——罗茨泵
罗茨泵可被作为常规的旋片式机械泵的预压缩装置使用,用来提高入口压
力,增加排量。特点:转速快,抽速大,压缩比低
油扩散泵 真空泵油经电炉加热沸腾后,产生一定
的油蒸汽沿着蒸汽导流管传输到上部,
经由三级伞形喷口向下喷出,形成一股
向出口方向运动的高速蒸汽流。
油分子与气体分子碰撞,把动量交给气
体分子自己慢下来,而气体分子获得向
下运动的动量后便迅速往下飞去。
在射流的界面内,气体分子不可能长期
文档评论(0)