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CS200F使用手册
CS 系列 200-F 型 质量流量控制器/质量流量计
使 用 手 册
2010 . 06
目 录
第一部分 产品说明 3.3 调零 12
1.1 使用须知 1 3.4 软启动 12
1.2 概述 1 3.5 延迟 12
1.3 技术指标 2 3.6 阀控制 12
1.4 标定 3 3.7 阀类型 12
1.4.1 标准状况 3 3.8 多气体多量程 12
1.4.2 制造环境 3 3.9 累积流量 13
1.4.3 精度调节 3 3.10 报警 13
第二部分 安装 3.11 LED 指示灯 13
2.1 概述 4 第四部分 维护
2.2 打开包装 4 4.1 概述 14
2.3 机械安装 4 4.2 注意事项 14
2.3.1 概述 4 4.2.1 介质使用要求 14
2.3.2 安装 8 4.2.2 阀口密封问题 14
1/4″VCR 接头安装方法 8 第五部分 故障诊断
双卡套接头的安装方法 9 5.1 初步检查 15
2.4 电气安装 9 5.2 故障检查 15
2.4.1 概述 9 第六部分 保证和服务
2.4.2 连接 10 6.1 产品保证 16
2.5 工作检查 11 6.2 服务 17
第三部分 功能介绍 附录Ⅰ 18
3.1 概述 11 附录Ⅱ 20
3.2 控制方式 11
MASS FLOW CONTROLLER MASS FLOW METER
质量流量控制器和质量流量计
使 用 手 册
第一部分 产品说明
1.1 使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 CS 系列质量流量控制器/质量流量计产品。本手
册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
！
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标志
的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用
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