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EBSD技术原理与应用
电子背散射衍射技术原理与应用
Electron Back-Scatter(ed) Diffraction
(EBSD )
2014.09.17
电子背散射衍射技术原理与应用
EBSD技术对样品的要求及制备方法
电子背散射衍射仪的构成及工作原理
EBSD数据采集与处理
EBSD 的分析速度和分辨率
EBSD花样提供的信息及其用途
电子背散射衍射技术的应用
EBSD技术对样品的要求及制备方法
EBSD样品的要求
样品能产生计算机可以识别,且能正确标定的菊
池衍射花样, 要求样品表面平整,无较大的应变
样品的制备方法
金属样品:电解抛光
陶瓷样品:机械抛光+硅胶抛光
金属基复合材料:离子束刻蚀
电子背散射衍射仪的构成及工作原理
电子背散射衍射仪的构成
近年来, EBSD 已
成为SEM或EPMA
的主要附件,并可
与EDS一体化而配
合使用
EBSD探测器外观图
电子背散射衍射仪的构成及工作原理
电子背散射衍射仪的构成及控制方式
SEM 电子束扫描方
式设置为定点模式
电子束控制
样品台控制
电子背散射衍射仪的工作原理图
电子背散射衍射仪的构成及工作原理
EBSD样品的要求
Beam
要求EBSD 样品表
面平整、无较大应
O 变,表面法线相对
入射束倾斜约70º
散射电子强度随散射角的变化 EBSD样品的放置
电子背散射衍射仪的构成及工作原理
EBSD花样的产生
e-
荧光屏
衍射晶面迹线
衍射晶面
衍射圆锥
2dsinθ=λ
EBSD菊池线
单个晶面电子背散射衍射原理示意图
电子背散射衍射仪的构成及工作原理
EBSD花样的产生
一般情况下,均可
获得多晶带同时参
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