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1 透射电子显微镜（TEM） 弹性电子 非弹性电子 TEM EELS 2 主要内容  透射电子显微镜认识  透射电镜分辨率及其影响因素  透射电镜工作模式  透射电镜成像衬度 3 透射电子显微镜发展历程  1897 年：英国人J.J. Thomson发现“电子” ；  1924年：De Broglie证明了快速粒子的辐射，并发现了一种高速运 动的电子波，其波长为0.005nm，比可见光绿光波长短10万倍，由 衍射效应确定的分辨率应为0.0025nm；  1926年：Busch提出了用轴对称的电场和磁场对电子束进行聚集， 发展成电磁透镜；  1927 年：Davisson和Germer以电子衍射实验证实了电子的波性  1932年：鲍利斯和鲁斯卡制造世界上第一台电镜，放大倍数12 透射电子显微镜发展历程  1934年：分辨率提高到50nm ；  1938年：分辨率提高到10nm；  1939年：西门子公司第一台商用电镜 交付使用；  1949年：发明消象散器，分辨率提高 到1nm；  1950年代中期：由於成功地以TEM观察 到不锈钢中的位错及铝合金中的小G.P. 区(G.P. zone)  1958年：中国生产第一台中型电镜 （长春，中国科学院精密机械仪器研 究所）  1968年：第一台配有能谱的电镜  1974年：商业扫描透射电镜 （STEM）  1977年：发展TEM-EELS 第一部实际工作的TEM，  1997年：STEM上实现球差校正 现在在德国慕尼黑的的遗 址博物馆展出。 透射电子显微镜发展历程 5 透射电子显微镜发展历程 6 JEM －2010F JEM-1250 JEM-2010F+Cs corrector Zeiss LIBRA 200FE EFTEM TECNAI G2 F20 7 透射电子显微镜分类 低压透射电镜 按照加速电压分 高压透射电镜 类 超高压透射电镜 普通透射电镜 按照