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微纳米尺度红外光热膨胀效应及新型光热驱动方法研究!-物理学报.pdf

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    第卷第期年月物理学报微纳米尺度红外光热膨胀效应及新型光热驱动方法研究张冬仙刘超章海军浙江大学现代光学仪器国家重点实验室杭州年月日收到年月日收到修改稿介绍了一种新型的基于非对称结构的光热微型驱动器驱动器由两个宽细不同的薄悬臂组成当红外激光照射在悬臂上时宽窄悬臂的比表面积不同导致其温度升高和伸长量不同从而使驱动器产生偏转建立了驱动器的热力学模型并给出了偏转量的计算公式使用准分子激光加工系统制作了一个长的微驱动器样机红外激光作为驱动源利用自制的控制监控系统进行了可行性试验观察并测量了驱动器偏转量与红外

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