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薄膜工程周新第二章表面及力物少表面的效即越重要在薄膜的情下膜厚少表面的效也越重要在成膜初期核表面能量也影核的形古典力可提供描述系的各巨包括表面能量的可平衡核的形但在薄膜研究域常需要原子尺度的料此即需借助力因此本章由古典力出介表面能量其算方法以及如何核的平衡形接著以力算出表面最後介表面再建造第一古典力理理力往往需要固定某些巨的力了化的理方法或形式通常以一些外延取代某些延引一些力位能在理固的最常使用自由能以及自由能在理表面的格使用自由能但一般籍皆用自由能因此本章也沿用一般籍的作法以自由能理表面在系度
薄膜工程 周麗新
第二章 表面結構及熱力學
當物體體積減少時 ，表面的效應即越趨重要。在薄膜的情況下，當膜
厚減少時 ，表面的效應也越趨重要，在成膜初期結核時，表面能量也將影
響核的形狀 。古典熱力學可提供描述系統的各項巨觀參數 包括表面能量
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