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第卷第期强激光与粒子束年月磨削加工光学元件亚表面损伤探究叶卉杨炜胡陈林毕果彭云峰许乔厦门大学机电工程系福建厦门中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳摘要对磨削加工的材料试件进行亚表面损伤探究分析磨削加工产生亚表面损伤的原因分别用亚表面损伤深度预测法分阶刻蚀法预测和检测元件亚表面损伤深度并分析切深工作台进给速度砂轮转速等参数对亚表面损伤深度的影响研究表明分阶刻蚀法直观有效与亚表面损伤深度预测法的结果一致性较好在本文实验条件下自行加工试件的亚表面损伤深度随切深增大而加深随工作台进给速度增大而有所
第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
26 9 Vol.26 No.9
年 月 ,
2014 9 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Se. 2
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