扩散炉安全使用说明书.pdf

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2017-09-18 发布于湖北
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扩散炉安全使用说明书

中国电子科技集团公司第四十八研究所 M5111-4W/UM 系列高温扩散/氧化系统安全使用说明书中国电子科技集团公司第四十八研究所 2007年2月中国电子科技集团公司第四十八研究所目录 1．使用环境要求 ······················· （1） 2．工作条件要求 ······················· （1） 3．设备调试时注意事项 ··················· （1） 4．设备使用注意事项 ···················· （2） 5．运行H/O合成工艺注意事项 ··············· （4） 6．真空系统注意事项 ···················· （5） 7．化学品的安全使用 ···················· （6） 8．气体的安全使用 ······················ （7） 9．保养与维修 ························ （8） 10、碳化硅制品使用说明 ·················· （8） 11、石英器件使用说明 ····················（11） I 中国电子科技集团公司第四十八研究所 1、使用环境要求 1.1 环境温度5～40℃。 1.2 相对湿度＜75％。 1.3 海拔不超过2500m。 1.4 电网电压波动不超过额定值±10%。 1.5 环境洁净度不劣于：1000级。 1.6 有良好的抽风排毒系统，每管抽风量3000～5000L/min。 1.7 无高频及较强的磁场干扰。 2、工作条件要求 2.1 供电：3Ф＋中线+地线，50HZ；设备功率：序号反应管形式炉膛内径单台管数单台总功率 1 开管 Ф300mm 3管/台 105KVA 2 开管 Ф300mm 4管/台 140KVA 3 闭管 Ф330mm 3管/台 128KVA 4 闭管 Ф330mm 4管/台