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硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究
硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究
—— 流化床反应器的模拟与空管反应器的实验
报告人:刘思思 博士生
E-mail: ssliu0504@
导 师:肖文德 教授
E-mail: wdxiao@
上海交通大学化学化工学院 2014-11- 6
研究背景
能源危机与新能源开发
太阳能电池
太阳能级多晶硅制备工艺
流化床反应器 vs. 钟罩式反应器
流化床硅烷裂解法的技术难题
难控制
多粉尘
上海交通大学化学化工学院 2014-11- 6 2
太阳能
蒸汽能 核能 生物质能…
风能 清洁型能源
新型能源
二次能源
污染型能源
常规能源 水能
一次能源
电能 地热能…
!!!!
煤炭 石油 天然气
上海交通大学化学化工学院 2014-11- 6 3
太阳能(光) 电能(太阳能电池)
化学能(水解制氢)
热能(热水器)
单晶:效率高(19~24%),成本高
太阳能电池 硅系 多晶:效率(12~19%),成本较低
非晶:效率(8~13%),成本最低
多元化合物薄膜:GaAs、CdTe
纳米晶化学:尚处于研究初期
上海交通大学化学化工学院 2014-11- 6 4
研究背景
能源危机与新能源开发
太阳能电池
太阳能级多晶硅制备工艺
流化床反应器 vs. 钟罩式反应器
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