硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究.pdf

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硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究

硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究 —— 流化床反应器的模拟与空管反应器的实验 报告人:刘思思 博士生 E-mail: ssliu0504@ 导 师:肖文德 教授 E-mail: wdxiao@ 上海交通大学化学化工学院 2014-11- 6 研究背景  能源危机与新能源开发  太阳能电池  太阳能级多晶硅制备工艺  流化床反应器 vs. 钟罩式反应器  流化床硅烷裂解法的技术难题  难控制  多粉尘 上海交通大学化学化工学院 2014-11- 6 2 太阳能 蒸汽能 核能 生物质能… 风能 清洁型能源 新型能源 二次能源 污染型能源 常规能源 水能 一次能源 电能 地热能… !!!! 煤炭 石油 天然气 上海交通大学化学化工学院 2014-11- 6 3 太阳能(光) 电能(太阳能电池) 化学能(水解制氢) 热能(热水器) 单晶:效率高(19~24%),成本高 太阳能电池 硅系 多晶:效率(12~19%),成本较低 非晶:效率(8~13%),成本最低 多元化合物薄膜:GaAs、CdTe 纳米晶化学:尚处于研究初期 上海交通大学化学化工学院 2014-11- 6 4 研究背景  能源危机与新能源开发  太阳能电池  太阳能级多晶硅制备工艺  流化床反应器 vs. 钟罩式反应器

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