有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共71页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
第12章--12.2 气相沉积技术
第十二章 先进表面工程技术
12.1 材料表面高能束改性处理技术
（激光束、电子束、离子束）
12.2 气相沉积技术
（物理、化学）
12.3 材料表面复合处理技术
12.4 其他先进表面工程技术
（表面微细加工技术、纳米表面工程技术、
多弧离子镀技术、超硬涂层表面技术、摩
擦搅拌表面改性技术）
17:49 2013-12-02 1/71 X.Z.LinX.Z.Lin
12.2 气相沉积技术
1. 物理气相沉积
1.1 真空蒸发镀膜
1.2 溅射镀膜
1.3 离子镀膜
2. 化学气相沉积
2.1 化学气相沉积的一般原理
2.2 化学气相沉积技术
2.3 化学气相沉积技术的应用
17:49 2013-12-02 2/71 X.Z.LinX.Z.Lin
17:49 2013-12-02 3/71 X.Z.LinX.Z.Lin
17:49 2013-12-02 4/71 X.Z.LinX.Z.Lin
物理气相沉积(PVD)
膜 镀 发 蒸 空 真 膜 镀 射 溅 膜 镀 子 离
17:49 2013-12-02 5/71 X.Z.LinX.Z.Lin
真空蒸发镀膜原理及其基本过程
真空表面沉积技术起始于真空蒸发镀膜，其基本
过程是：
•在真空容器中将蒸镀材料(金属或非金属)加
热，当达到适当温度后，便有大量的原子和分子
离开蒸镀材料的表面进入气相。
•因为容器内气压足够低，这些原子或分子几乎
不经碰撞地在空间内飞散，
•当到达表面温度相对低的被镀工件表面时，便
凝结而形成薄膜。
17:49 2013-12-02 6/71 X.Z.LinX.Z.Lin
程 过 本 基 其 及 理 原 膜 镀 发 蒸 空 真
9 1
蒸发成膜系统如右图
所示。 8
主要部分有： 2
真空容器( 提供蒸发所需
的真空环境) ，
文档评论（0）