线路干膜研讨会报告100913-V1.pdf

干膜相关问题解答 旭化成电子材料(苏州)有限公司 技术营业部 2010年9月13 日 1.如何减少和去除显影槽的Scum?Scum为 何分子式及反应机理？处理机理 显影Sludge (Scum) 单体, 引发剂, 增塑剂, 染料 = 疏水性 聚合物 = 亲水性 疏水性 含有 –COOH 基团 含有 –COOH  一旦上述疏水性物质从显影液中析出,则会凝结而产生显 影Sludge 显影Sludge例子 减少Sludge 减少Sludge 1. 控制抗蚀剂的溶解量 2. 水质 3. 消泡剂类型 4. 定期的保养 5. 过滤芯的密度 6. 使用防UV灯 乳化基团破裂 ⇒ 疏水性物質产生 ⇒ sludge 减少显影sludge方法(1) 1.控制抗蚀剂的溶解量 如果显影液中有很多的乳化基团,则它们之间很容易产生碰撞  乳化基团破裂  sludge 2 建议溶解量: 0.25m /L [对于1.5mil的干膜 (=40um)] 0.20m2/L (50um), 0.33m2/L (30um), 0.50m2/L (20um) 1% Na2CO3 如何管控 11.4 1) 计算作业板子的数量 ⊿pH=0.9 2) pH 值控制 PH 3) 電位差計 10.5 ※ 1), 2) 两种方法非常常用和方便 Resist loading (m2/L) 减少显影sludge方法(2) 2. 水质 • 建议使用纯水或DI 因为市水中含有一些离子如 Cl- 2+ 2+ , Mg , Ca etc.,还有硅的的化合物 短路不良(减成法制程) 有机Sludge来自干膜抗蚀剂. MgCO3, CaCO3 的结晶物容易吸附在传送滚轮和风刀区域