莱宝低温泵操作说明.pdf

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2017-09-19 发布于湖北
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莱宝低温泵操作说明

瑞康莱宝真空 COOLVAC Classic Line 带有自动控制和再生的功能低温泵 Cryopump System with Automatic Control and Regeneration 操作说明 GA12145_002_A1 部件编号. 844 160V000x 844 200V000x 844 250V000x 844 320V000x 844 410 844 610V000x 仅供参考，如有疑义以英文版说明书为准目录页码重要的安全说明 4 操作说明的使用 7 系统概要 8 1 说明 12 1.1 设计和功能 12 1.2 标准规格 18 1.3 技术数据 19 1.4 订货信息 24 2 运输及存放 27 3 泵系统的安装 28 3.1 适用性 28 3.2 COOLVAC 的安装 28 3.3 阀门的连接 30 3.4 前级泵的连接 32 3.5 测量仪表的连接 34 3.6 电气连接 34 4 压缩机的安装 38 5 双重控制装置的安装 39 6 多重控制装置的安装 43 7 压缩机和低温泵的连接及试运行 7.1 安装氦管 49 7.2