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b_P-N结理论.pdf

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b_P-N结理论

一、PN结的基础知识 PN结的结构 P-N结理论 P-N结理论 P-N结的形成 P-N结的形成 平面结 平面结 合金结 合金结 pn结 就是由p 型半导体和n型半 导体组成,导电机构由两种载流 子构成,称为双极器件。 P-well 掩膜1: P阱光刻 掩膜1: P阱光刻 Si-衬底 S i O 2 S i - 衬 底 涂胶 显影 刻蚀 淀积氮化硅 光刻有源区 场区氧化 去胶 掺杂 去除氮化硅及二氧化硅 长栅氧 淀积多晶硅 B+ 光刻多晶硅 P+区光刻 P + 光刻接触孔 N + 区 光 刻 AL PSG 场氧 circuit chip Pol

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