MEMS器件与系统_传感器.pdf

MEMS器件与系统介绍及应用 美泰电子科技有限公司 18专业部概况 总部新区1000亩 总投资6亿元 总建筑面积15000平米 高等级净化面积5000平米 MEMS和ASIC设计 MEMS芯片制造和封装 SMT 电路贴装线 MEMS传感器测试 器件可靠性和质量认证 18专业部概况  中国MEMS行业协会理事长单位  国际先进水平的6英寸MEMS工艺  世界领先的产品测试标定设备 国内最大的MEMS  “863”MEMS加工和封装基地 高端核心芯片、器  国家高新技术企业 件和系统产品供应  ISO9001，ISO TS16949 认证 商，中国MEMS惯 性器件的领导者。 18专业部概况 20年研发和持续创新发展 20 Years RD and innovation 目 录 一．惯性器件与系统 二．测试测量传感器 三．遥测传感器 四．压力传感器 五．触发、过载开关 六．RF MEMS射频器件 三．MEMS惯性传感器 一． 惯性器件与系统 MEMS陀螺系列化产品 • LCC28陶瓷封装； • 体积11.4 ×11.4 ×3.8mm; • 重量1.5克； MEMS陀螺仪主要指标 • 具备温度输出和自检功能； 性能参数 单位 典型指标 MSG7100D单轴MEMS陀螺 量程 °/s ±50~ ±5000 短期零偏稳定性 °/h ≤10 标度因子非线性 %FS ≤0.05 • 金属水密封装； 分辨率 °/s 0.003