有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共24页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
刻蚀和PECVD培训
工艺部：刘志敏
全球能源 ·中国智慧
等离子体刻蚀定义
• 等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活
成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻
蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性生
成物而被去除。它的优势在于快速的刻蚀速率同时可获得
良好的物理形貌。（这是各向同性反应）
• 这种腐蚀方法也叫做干法腐蚀。
2
全球能源 ·中国智慧
2种天线耦合方式
（a ）静电耦合主要利用静电场
成份来加速电子，又称电容耦合，
产生电容耦合等离子体；
（b）感应耦合利用感应电场成
份，无外加磁场时产生感应耦合等
离子体；有外加磁场时产生螺旋等
离子体；
七星华创 四十八所
捷佳创
3
全球能源 ·中国智慧
干法刻蚀气路图
MFC1 CF4 阀
CF4
MFC2 射频功率源
O2 O2 阀
N2 N2阀
充气阀 反应室
预抽阀
稀释阀
尾气
主抽阀
进气均流板 电子执行
器
过滤网
主阀
文档评论（0）