北化高分子研究方法--电镜--D4-.pdf

第三章 扫描电子显微镜（SEM ）  第一节 扫描电镜的构造及成像  第二节 衬度、分辨率和放大倍数  第三节 扫描电镜制样与应用实例  第四节 扫描电镜分析条件的优化 第四节 扫描电镜分析条件的优化 电镜的合轴  电子枪合轴。  光阑对中。  物镜合轴、消像散器合轴  当改变加速电压或操作模 式时，应检查合轴情况。  通常改变某一透镜电流， 成像向特定方向移动，说 明该透镜或光阑偏离主光 轴。 加速电压的选择  加速电压高，图像分辨率高，信噪比高，但会使图像边缘 效应增强，并产生充电现象。  此外，因电子束穿透能力强，可能看到更多内部结构，但 也会弱化干扰表面形貌。  导电性不好的样品，宜选用较低的加速电压。 5 6 低加速电压对成像的意义-观察表面细节 1kV 10kV 20kV 1 kV 0.1 kV Secondary electron image of resist on Si at 1 kV and 0.1 kV, uncoated. 8 10 kV 1 kV 5 kV 3 kV 样品：氮化硼 10 Uncoated latex spheres at 1.47 kV and 1.08 kV. A difference of 390 V. 11 Uncoated filter sample at 0.25 kV. Filter sample coated for 5 s with Pt/Pd, imaged at 1 kV. 12 13 14 电子束斑大小的选择  电子束斑的大小取决于第一聚光镜的励磁 电流，有些模式下也取决于光阑孔的大小。  电子束斑大（也即探针电流大），信号强， 图像噪音小，但分辨率较低，样品表面易 充电。  平衡 聚焦、消像散  图像聚焦和消像散是图像质量重要保证，