史上最全管式PECVD介绍学习的好资料(深圳捷佳公司).pdf

深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 型号:PD‐305A 1.程序界面划分介绍 2.系统设置功能介绍 3.手动控制功能介绍 4.工艺编辑操作说明 5.设备报警处理方法 控制程序显示界面可分4个功能区： 1.标题栏：显示该设备型号;当前时间;退出按钮;红色 ,黄色,绿色三种警灯信息;八种操作模式切 换按钮 2.主视窗:显示某个模式状态下的操作界面 3.编辑窗:0.1—10000各数量级的整数供编辑数据使用 4.设备状态窗:该窗口时时显示设备的各项数据和工艺 状态 见下页界面 标题栏 主视窗 编辑窗 设备状态栏 1:快捷方式 3:确定进入 2:管理员 工程师 操作员 登陆程序后显示一个必须人员干预的”舟状态确认” 对话框 1,2两项为控制程序保存的上次退出软件时管内和桨上 石墨舟的有无状态,不可操作 3.许本次登陆程序的人员确认管内石墨舟情况 4.许本次登陆程序的人员确认桨上石墨舟情况 注:在3,4两项确认后,对话框显示确认按钮可继续 其他操作 见下页界面 程序有八种操作模式界面 操作 权限 操作模式 管理员 工程师 操作员 1.系统设置 √ 2.手动控制 √ √ 3.工艺编辑 √ √ 4.事件记录 √ √ √ 5.系统图况 √ √ √ 6.温控图况 √ √ √ 7. 曲线图况 √ √ √ 8.历史曲线 √ √ √ 1.温控方 本型号设备务必选择基本外部控制.串级控制方式用于石英管内与石英管外联合 式 控温,不适合本设备,否则在设备状态栏提示通讯障碍 2.阀门设 可以独立开关特气(SiH4,NH3)管路的各个阀门,可以开关主抽阀,排气阀. 由于特气 置 管路需谨慎操作,所以在手动开关或清洗特气管路时要在管理员模式下进行.各阀 体对应管路位置请查看16页系统图况标识或查看电气说明书. 3.舟位置 每次新装石英管后要手动调整桨在管内的位置，使得石墨舟与电极接触良好， 设置 并保存下马达的水平终点位置与起始位置，上下马达的上升位置与下降位置. 这4个参数就是工艺进出舟的水平起点，终点，上升位置，下降位置. 要谨慎修改 4.报警设 可以设置各个流量计和管内压力的设定