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《材料分析测试技术》 第二篇 电子显微分析 第15章 电子探针显微分析（EPMA） （Electron Probe Microanalysis） 微区 ◆ 电子探针仪的结构与工作原理 成分 ◆ 电子探针仪的分析方法及应用 分析 1 15.0 引言—— 电子探针的功能  电子探针的功能：进行微区成分分析.  它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上 发展起来的一种高效率分析仪器。其原理是用 细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品的特 征X射线，分析特征X射线的波长（或特征能 量），即可知道样品中所含元素的种类（定性 分析），分析X射线的强度，则可知道样品中 对应元素含量多少（定量分析）。 2 分析理论基础及方法 理论基础： 莫塞莱定律  2 1 1 K系:K R(Z 1) ( 2  2 ) 1 2 1  2 1 1 L : R(Z 7.4) ( ) KZ   1 系 L1  22 32  2 1 1 : R(Z ) ( ),n m 通式     2 2 m n K: 与马德堡常数有关； σ：屏蔽常数 7 -1 R:里德伯常数1.097×10 m 常用K系Z 35 L系 Z 35 3 §15.1 电子探针仪的结构与工作原理 电子探针结构 电子探针镜筒部分的 结构大体上和扫描电子 显微镜相同； 电子探针仪信号检测 系统是X射线谱仪； 用来检测特征波长的 谱仪叫做波长分散谱仪 （波谱仪WDS ）； 用来检测特征能量的 谱仪叫做能量分散谱仪 （能谱仪EDS）。 4  电子探针仪与SEM镜筒大致相同,仅接收物 理信号有区别,现一般在SEM上加装特征X 射线探测附件,可对同一区进行组织、成分 分析。  两种展谱方式 1