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材料分析测试技术-第15章
《材料分析测试技术》
第二篇 电子显微分析
第15章 电子探针显微分析(EPMA)
(Electron Probe Microanalysis)
微区 ◆ 电子探针仪的结构与工作原理
成分 ◆ 电子探针仪的分析方法及应用
分析
1
15.0 引言—— 电子探针的功能
电子探针的功能:进行微区成分分析.
它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上
发展起来的一种高效率分析仪器。其原理是用
细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品的特
征X射线,分析特征X射线的波长(或特征能
量),即可知道样品中所含元素的种类(定性
分析),分析X射线的强度,则可知道样品中
对应元素含量多少(定量分析)。
2
分析理论基础及方法
理论基础: 莫塞莱定律
2 1 1
K系:K R(Z 1) ( 2 2 )
1 2
1 2 1 1
L : R(Z 7.4) ( )
KZ 1 系 L1 22 32
2 1 1
: R(Z ) ( ),n m
通式
2 2
m n
K: 与马德堡常数有关; σ:屏蔽常数
7 -1
R:里德伯常数1.097×10 m
常用K系Z 35 L系 Z 35
3
§15.1 电子探针仪的结构与工作原理
电子探针结构
电子探针镜筒部分的
结构大体上和扫描电子
显微镜相同;
电子探针仪信号检测
系统是X射线谱仪;
用来检测特征波长的
谱仪叫做波长分散谱仪
(波谱仪WDS );
用来检测特征能量的
谱仪叫做能量分散谱仪
(能谱仪EDS)。
4
电子探针仪与SEM镜筒大致相同,仅接收物
理信号有区别,现一般在SEM上加装特征X
射线探测附件,可对同一区进行组织、成分
分析。
两种展谱方式
1
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