氧化锌纳米棒制备工艺的研究.pdf

本科学生毕业论文 论文题目： ZnO纳米棒的工艺制备研究 学 院： 电子工程学院 年 级： 2012级 专 业： 电子科学与技术 （微电子） 姓 名： 赵静波 学 号： 指导教师： 刘红梅 2016 年 5 月 22 日 摘要 氧化锌(ZnO)是第三代半导体材料，其纳米结构有着良好的光电、压电、热电和催 化特征，其在显示器、太阳能电池、气敏和压敏元器件、表面声波器件等领域具有广泛 应用前景。 本文介绍了采用溶胶凝胶法制备ZnO籽晶层，并研究了利用水热反应在籽晶层上 生长ZnO 纳米棒的制备工艺，通过扫描电子显微镜(SEM)表征了ZnO 纳米棒的结构形 貌。在水热生长过程中分别研究生长温度、生长时间和生长溶液浓度对ZnO 纳米棒生 长的影响，成功生长出六棱柱形、取向较一致的ZnO 纳米棒。最后通过对实验结果的 对比确定了ZnO 纳米棒最佳的生长条件。 关键词 氧化锌；溶胶凝胶法；纳米棒；籽晶层；水热法 I Abstract Thenano-structureofZinc oxide (ZnO) isthethirdgeneration of semiconductor,andthe nanostructure of ZnO has excellent features in photoelectricity, piezoelectricity, pyroelectricity and catalysis, it has wide application prospects in display, solar cell, the componentsofgassensororpressure-sensitive sensorand SurfaceAcousticWavedevices. Thispaper mainly introducedtheprocessesofmaking seeding layer with sol-gelmethod. It also researches the hydrothermal method of growing the nanorod on the seeding layer,and it characterizesthenano-structurewith scanning electron microscope(SEM).In theprocess of hydrothermal method, it researches the influence of nanorod with different temperature,time and concentration.This experiment achieves growing the nanorodwhich ishexagonal prisms and orientation isuniform.Finally I find the suitable condition of growing ZnOnanorodwith thecomparison oftheresult. Keywords ZnO;sol-gel;nanrod;seed layer;hydrothermalmethod II 目录 摘要I AbstractII 第一章 绪论1 1.1 一维纳米半导体材料1 1.2 ZnO 一维纳米材料2 1.3 ZnO 纳米材料的制备方法2 1.3.1 液相法2 1.3.2 气相法3 1.3.3